半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統
3S-B20臭氧輸送系統,配置Apex H30 高濃度臭氧發生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設計,體積小、濃度高、穩定性好,是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。
半導體企業定制高濃度臭氧發生檢測系統
3S-B20臭氧輸送系統,配置Apex H30 高濃度臭氧發生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設計,體積小、濃度高、穩定性好,是半導體ALD PLD CVD ALE MBE 等應用的不二選擇。